表面粗さ測定法の真髄

表面粗さについての教育及び参考資料: : : : : : : : :表面粗さの巻へ

 

０．表面形状の定義

           表面粗さとうねり　　：：：：　　光の勉強（回折、干渉、偏光）：：　　更に基礎的な光の勉強：：光学実験の掟:掟その1 レーザ光源の選択：：光学屋さんのまめ知識：：偏光計測技術

１． 表面粗さ(surface roughness)測定法

１−１．触針式表面粗さ測定

触針式表面形状測定器　DektakXT、サーフコム

      ＡＦＭ（ＳＰＭ）、更に詳しい説明と利用機器及びリンク、ＳＰＭの種種のモードSPM(AFM)の巻へ　　　　　

      ＡＦＭｓｏｆｔ

１−２．非接触表面粗さ測定（厚み測定まで拡散しています）

      光学的測定

                  干渉式　原理、詳しい説明ＺＹＧＯのカタログ仕様、ＺＹＧＯ解析ソフト（メモリ１ＧＢ必要）

                             白色光干渉式ＺＹＧＯ、ＷＹＣＯ、菱化システム、東レＳＰ-７００

                            

                             レーザー干渉式（透過波面測定）

                            

                             分光干渉式（精密膜厚測定です）解説、入門編膜厚解説

                             フィルメトリクス、Ｆ４０、　　　　　　Ｆ４２、　　　　　　　　　　　　　Ｆ２０-５ｍｍ径　ハマホトＣ10323

                                                   　　　　

                             エリプソ（厚み、屈折率も測れるが広い面積必要）エリプソ測定の為の偏光の勉強

                             リガクXRD-SmartLab（多層膜の厚み（サブミクロン以下）、界面粗さも測れるが広い面積必要）

                            

                  共焦点式

                             レーザー顕微鏡（ＬＳＭ）オリンパスＯＬＳ４０００、キーエンスVK-X100/X200キーエンスＶＫ−９７００、ＮＥＸＩＶ-ＶＭＲ

                             OLS4000soft（メモリ４ＧＢ、３２ビット版）      

                             レーザー変位計：ＮＡＺＣＡ−３Ｄ、キーエンスＫＳ1100、ＭＡＰ−３Ｄ

、上記にヘッド交換可能：キーエンスレーザー変位計、、分光干渉タイプ、、共焦点タイプ、

                  干渉-共焦点複合式

                             共焦点-干渉顕微鏡ＰＬu　ｎｅｏｘ ::: :::::: ::: :::表面粗さの巻へ

                                                  

                  ＣＴ（コンピューテッド・トモグラフィ（Computed Tomography））コンピュータ断層撮影法

                                    Ｘ線ＣＴ：ＸＭＳ-ＣＴ、ＦＬＥＸ−Ｍ８６３、ＳＫＹＳＣＡＮ（ｓｏｆｔ）

                                                                             

                                    PET（ポジトロン断層法）

                                    SPECT（単一光子放射断層撮影）

      電気的測定

静電容量方式

磁気的測定

          

           ＭＲＩ（マグネティック・レゾナンス・イメージ（Magnatic Resonance Image））、

超音波測定

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光をコントロールする物性：日本板硝子テクノリサーチ